隨著人們生活質量的提高，對空氣質量也有所要求，無塵凈化工程也大量的開展起來，這當然需要許多設備，因此對無塵室也有一定的要求，那么，無塵室的分類是怎樣的呢？

1. 亂流式（Turbulent Flow）：空氣由空調機箱經風管和潔凈室內的空氣過濾器（HEPA）進入潔凈室，并由潔凈室內的回風柱或高架地板回風。氣流是呈不規則的亂流或渦流狀態。此型式適合于潔凈室等級為：1,000-100,000級。

優點：構造簡單、系統建造成本比較低，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所需提高潔凈等級，可結合潔凈工作臺來提高潔凈室等級。

缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求的潔凈度，往往須相當長一段時間。

2.層流式（Laminar）：　空氣氣流運動成一均勻的直線形，空氣由覆蓋率100%的過濾器進入室內，并由高架地板或兩側回風柱回風，此型式適合于級別比較高的潔凈室，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

（1）水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。
（2）垂直層流式：房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

3.復合式（Mixed Type）：　復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。（1）潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式



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